概述

TOOL-Base是一種*的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機(jī)械設(shè)備。

它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設(shè)備有高度限制。

TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設(shè)計(jì)成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質(zhì)量相匹配。

TOOL-Base優(yōu)勢

硬安裝技術(shù) - TOOL-Base是帶有內(nèi)部氣動振動控制系統(tǒng)的理想工具，提供一個穩(wěn)定和堅(jiān)硬的平臺，以支持振動敏感的工具。

主動慣性振動消除 - TOOL-Base采用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實(shí)現(xiàn)高水平的振動衰減，即使在安靜的地面上。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - 的串行設(shè)計(jì)和**的高功率壓電技術(shù)使得0。6Hz開始的有源帶寬很寬，并且在2Hz開始的主動減振90%達(dá)到**的慣性主動減振效果。

配置靈活性 - TOOL-Base的配置可以調(diào)整，以適應(yīng)刀具的底座和高度要求。

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試1800磅（818千克）有效載荷

應(yīng)用照片