概述

STACIS IIIc是STACIS III**主動(dòng)隔振系統(tǒng)的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)STACIS III系統(tǒng)的高度會(huì)使儀器過(guò)高。

在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規(guī)STACIS III高度的60％。在具有3個(gè)以上隔離器的系統(tǒng)中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負(fù)載設(shè)置。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參見(jiàn)下面的規(guī)格。

 

 

STACIS IIIc優(yōu)勢(shì)

與常規(guī)STACIS III系統(tǒng)相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒(méi)有降低。

STACIS比空氣隔振器堅(jiān)固數(shù)百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒(méi)有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。

的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù) 

可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的**主動(dòng)隔振性能。
 

性能

 

性能規(guī)格

規(guī)格

 

隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

DC-2020控制器規(guī)格

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域
1、微電子、半導(dǎo)體
? 晶片檢測(cè)
? 顯微光刻技術(shù)
? 掩膜校準(zhǔn)
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺(tái)
? 生命科學(xué)、藥物研發(fā)
4、工業(yè)應(yīng)用
? 精密加工
 
為什么要選擇主動(dòng)系統(tǒng)？
? 從<1Hz開(kāi)始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振
? 提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
? 更加細(xì)小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定
? 滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的**解決方案
? 使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低
 
主動(dòng)系統(tǒng)為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無(wú)震環(huán)境。
? 市場(chǎng)上**強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿足。
? STACIS**發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。
 
STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍
穩(wěn)定時(shí)間作為對(duì)擾動(dòng)的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺(tái)面的情況下。
 
如下優(yōu)勢(shì)在業(yè)內(nèi)都是**的
? STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB 
? 從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB) 
 
專業(yè)的環(huán)境調(diào)查
1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證
? 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)
? 開(kāi)具專業(yè)環(huán)境報(bào)告
? 提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測(cè)及解決方案
? TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶推薦實(shí)用性方案 
? 40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的**
 
應(yīng)用照片