主動隔振平臺概述

STACIS® III是一種靈活主動隔振系統(tǒng)。STACIS主動隔振平臺系統(tǒng)采用*的慣性振動傳感器、*的控制算法和壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。

STACIS**初設(shè)計用于隔離*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中**敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

STACIS III主動隔振平臺系統(tǒng)包括一個全新的改進型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在已擁有數(shù)百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對振動**為敏感的儀器。

主動隔振平臺系統(tǒng)STACIS III的優(yōu)勢

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運行。

的串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)，可實現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。

主動隔振平臺系統(tǒng)STACIS III特征

? **新改進型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面

? 隔振開始于0.6赫茲，1Hz時達到40％***70％的隔離率

? 頻率2赫茲和更高時，垂直和水平隔振率大于90％

? 降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動設(shè)備也可正常運行

? 有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz

? 獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定

? 6向自由度硬安裝設(shè)計，無需空氣懸架

? 強大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)

? point-of-use設(shè)計方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容

? 隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動情形

? TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動消振

? 數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）

? 提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。

? 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

? **寬的主動隔振帶寬，**的低頻隔振效果

? 亞赫茲的主動震動消除，**主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

? 可堆疊式設(shè)計

? 主動硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連

? 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚***無需調(diào)諧

? 由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器

? 負載可達2000kg

? 市場上**的主動隔振系統(tǒng)

主動隔振平臺性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試4500磅（2045千克）有效載荷

主動隔振平臺規(guī)格

性能規(guī)格

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域

1、微電子、半導(dǎo)體

? 晶片檢測

? 顯微光刻技術(shù)

? 掩膜校準(zhǔn)

2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

? SEM、TEM

? STEM、SPM

3、激光臺

? 生命科學(xué)、藥物研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

? 精密加工

為什么要選擇主動隔振系統(tǒng)？

? 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

? 提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

? 更加細小特色的成像能力

? 前沿研究

? 比氣動平臺更穩(wěn)定

? 滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點安裝參數(shù)的**解決方案

? 使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低

主動隔振系統(tǒng)為何選擇STACIS

? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環(huán)境。

? 市場上**強勁的低頻隔振系統(tǒng)。

? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動參數(shù)需要主動隔振系統(tǒng)才能滿足。

? STACIS**發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進一步發(fā)展，開發(fā)和安裝了數(shù)以千計的主動隔振系統(tǒng)，這是主動隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

穩(wěn)定時間作為對擾動的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計，而大大縮短，理想應(yīng)用于機械制造、動態(tài)負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是**的

? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

? 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB 

? 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB) 

專業(yè)的環(huán)境調(diào)查

1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動、磁場、聲波

2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

? 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

? 開具專業(yè)環(huán)境報告

? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

? TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶推薦實用性方案 

? 40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內(nèi)的**

應(yīng)用照片